تمیز کردن و سطح دقیقدرمان
ما در ارائه راه حل های حرفه ای تمیز کردن و تصفیه سطح برای فناوری های فرآیند پیشرفته تخصص داریم. با ادغام منابع از شرکای استراتژیک در صنعت، ما برای ارائه پشتیبانی خدمات جامع به مشتریان خود همکاری می کنیم. شرکای ما بیش از 20 سال تجربه عملی در زمینه نیمه هادی ها، با تیم هایی مجهز به تخصص فنی دارند که تا گره 14 نانومتری را پوشش می دهند. آنها می توانند به طور قابل اعتمادی خدمات تمیز کردن و تصفیه سطح را برای ویفرهای 8 اینچی و 12 اینچی ارائه دهند که شامل فرآیندهایی مانند رسوب بخار فیزیکی (PVD)، رسوب شیمیایی بخار (CVD)، اچینگ و کاشت یون می شود.
ما به عنوان یک پل خدماتی، از سیستمهای مدیریت کیفیت بالغ و قابلیتهای خدمات پاسخگو شرکای خود استفاده میکنیم تا به مشتریان مدار مجتمع و تولید نیمههادیهای گسترده کمک کنیم تا کنترل کیفیت و چالشهای فرآیندی سختگیرانه را برطرف کنند و پشتیبانی خدمات کارآمد و پایدار را ارائه دهند.
مطالعات موردی تمیز کردن دقیق
آزمایش نمونه پس از شستشوی دقیق، سطح ذرات و سطح باقیمانده یون فلزی روی سطح باید الزامات فرآیند 28 نانومتری فعلی را برآورده کند.
-
قبل از -
بعد از
-
قبل از -
بعد از
-
قبل از -
بعد از
-
قبل از -
بعد از
فرآیند تمیز کردن و بازسازی دقیق
-
بازرسی ورودی
بازرسی ورودی
ظاهر، مشخصات و آسیب را بررسی کنید.
-
نقاب زدن
نقاب زدن
مناطق غیر درمانی- را از خوردگی محافظت کنید.
-
پاکسازی شیمیایی
پاکسازی شیمیایی
پوشش های قدیمی را به طور دقیق حذف کنید.
-
شستشو/خیساندن
شستشو/خیساندن
بقایای مواد شیمیایی را با آب خالص از بین ببرید.
-
نقاب زدن
نقاب زدن
مناطق را از سندبلاست محافظت کنید.
-
سندبلاست
سندبلاست
پارامترها را برای دستیابی به زبری هدف تنظیم کنید.
-
اندازه و بازرسی
اندازه و بازرسی
اندازه گیری و اصلاح ابعاد برای مطابقت با مشخصات.
-
اسپری حرارتی
اسپری حرارتی
پوششهای مقاوم در برابر سایش را از طریق قوس یا پلاسما اعمال کنید.
-
شستشوی با فشار بالا{{0}
شستشوی با فشار بالا{{0}
ذرات بزرگ سطح را حذف کنید.
-
تمیز کردن اولتراسونیک
تمیز کردن اولتراسونیک
تمیز کردن دقیق را برای حذف ذرات ریز انجام دهید.
-
خشک کردن اتاق تمیز
خشک کردن اتاق تمیز
قطعات را به طور کامل در اجاق اتاق تمیز کلاس 100 خشک کنید.
-
بازرسی نهایی
بازرسی نهایی
انجام بررسی های جامع برای اطمینان از انطباق.
-
بسته بندی
بسته بندی
اجزای بسته خلاء بر اساس نیاز مشتری.
-
ممیزی حمل و نقل
ممیزی حمل و نقل
کمیت و یکپارچگی بسته بندی را بررسی کنید.
-
تحویل نهایی
تحویل نهایی
تولید گزارش و ارائه.
قابلیت سرویس دهی
► 5000m2(55000 فوت مربع) منطقه کارگاه تمیز.
► بیش از 50000 قطعه در ماه قابلیت درمان.
► 365 روز خدمات مستمر و کارآمد.
► محصولات مختلف، فرآیندهای مختلف.
►8 خط پردازش پیشرو شامل فن آوری های:
- تمیز کردن / پاکسازی شیمیایی، پاکسازی فیزیکی
- اسپری ARC، اسپری پلاسما، پوشش، بافت، تمیز کردن و بستهبندی با جاروبرقی، تعمیرات اساسی و غیره.
قابلیت فنی
► فرآیند: فرآیند پیشرفته 14 نانومتری
► محدوده خدمات: 4 اینچ، 6 اینچ، 12 اینچ قطعات نیمه هادی
► فرآیند خدمات: PVD/CVD/ETCH/IMPLANT/LITHO
► کنترل کیفیت دقیق: فناوری تمیز کردن با دقت استاندارد بالا-
