info@tessvida.com    +8615026797351
Cont

سوالی دارید؟

+8615026797351

video

حلقه های فوکوس

مقاوم در برابر حرارت و خوردگی، با تلفات دی الکتریک کم برای تمرکز دقیق پلاسما.

حلقه فوکوس سرامیکی یک جزء ضروری در محفظه های اچینگ نیمه هادی است که برای کنترل یکنواخت توزیع پلاسما در سطح ویفر از طریق هندسه دقیق و خواص دی الکتریک پایدار طراحی شده است. حلقه‌های ما از آلومینا یا ایتریا با خلوص{{1} بالا ساخته شده‌اند که مقاومت خوبی در برابر پلاسما و پایداری حرارتی ارائه می‌کنند. آنها به طور موثر تغییرات نرخ اچ را بین مرکز ویفر و لبه کاهش می دهند و از یکنواختی فرآیند در ساخت نیمه هادی های پیشرفته اطمینان حاصل می کنند.

ترکیبات: آلومینا، اکسید ایتریوم، زیرکونیا، نیترید آلومینیوم، نیترید سیلیکون، نیترید بور، کاربید سیلیکون
مشخصات: سفارشی در صورت تقاضا
کاربرد: نیمه هادی و الکترونیک، FPD/LED، بنزین و مواد شیمیایی، انرژی و نیرو
پردازش سفارشی: سفارشی سازی و مهندسی معکوس بر اساس نقشه ها و نمونه ها.
ارسال درخواست

معرفی محصول

محصولتوضیحات

 

ما حلقه‌های فوکوس با کارایی بالا-و{1}}را برای محیط‌های مختلف حکاکی ارائه می‌کنیم. با استفاده از تخصص شرکای تولیدی خود در علم مواد و مهندسی فرآیند، از مقاومت خوب پلاسما و پایداری حرارتی اطمینان می‌دهیم. هر جزء با دقت مهندسی شده است- تا در برابر شرایط شدید RF و پلاسما مقاومت کند و قابلیت اطمینان پایداری را برای فرآیندهای نیمه هادی پیشرفته فراهم می کند.

 

 

ویژگی ها

  • مقاوم در برابر خوردگی پلاسما
  • پایداری حرارتی عالی
  • خواص دی الکتریک برتر
  • استحکام مکانیکی بالا
  • مقاوم در برابر خوردگی
  • ضریب انبساط حرارتی پایین
  • صافی و دقت بالا

 

کمک فنی

 

  • محصولات سفارشی بر اساس نیاز مشتری.
  • برای بهبود طراحی محصول، بهبود عملکرد و کاهش هزینه ها با مشتریان همکاری کنید.
  • خدمات ردیابی و پیگیری برنامه‌های محصول-.

 

 

تخصص سرامیک

 

Tessvida متخصص Solutions Total Kit (TKS) است که به صنایع کلیدی خدمات می دهد: نیمه هادی و الکترونیک، دستگاه های پزشکی، FPD/LED، ماشین آلات، پتروشیمی، خودرو و حمل و نقل، انرژی و نیرو، و غذا و کشاورزی. با زنجیره تامین بالغ و فرآیندهای پیشرفته (پرس ایزواستاتیک، ریخته‌گری ژل، پرس خشک)، ما قابلیت‌های پایانی-تا-از آماده‌سازی مواد، قالب‌گیری، پخت تا ماشین‌کاری دقیق و پردازش{3} را ارائه می‌کنیم.

خدمات سفارشی منعطف ما با پشتوانه تخصص عمیق در{0}}سرامیک با خلوص بالا و ادغام منابع قوی، دقیقاً نیازهای مشتری از انتخاب مواد تا تحویل محصول نهایی را برآورده می‌کند.

 

 

فرآیند تولید سرامیک

 

High-Temperature

آماده سازی پودر

تهیه پودر مواد خام، دانه بندی اسپری (اختلاط، آسیاب مکانیکی توپ، خشک کردن اسپری)

01

Powder Forming

تشکیل پودر

پرس ایزواستاتیک، پرس خشک، قالب گیری تزریقی، ژل سازی، ریخته گری، پرس گرم

02

Powder Preparation

تف جوشی با دمای بالا-

تف جوشی اتمسفر، تف جوشی خلاء، تف جوشی با اتمسفر کنترل شده

03

Precision Processing

پردازش دقیق

برش، تراش، آسیاب، فرز، شکل دادن، سوراخ کردن

04

Surface Treatment

درمان سطحی

تمیز کردن، ذوب قوس، پاشش پلاسما، پاشش الکترواستاتیک، رسوب بخار، تمیز کردن فوق-، آندایز کردن، کامپوزیت متالیزاسیون

05

 

 

گردش کار پردازش سرامیک دقیق

 

  • wmpage03-s1.webp

    آماده سازی مواد

  • wmpage03-s2.webp

    تشکیل مواد

  • wmpage03-s3.webp

    تف جوشی

  • wmpage03-s4.webp

    ماشینکاری خوب

  • wmpage03-s5.webp

    بازرسی

  • wmpage03-s6.webp

    تمیز کردن دقیق

  • wmpage03-s6.webp

    بسته بندی وکیوم

  • wmpage03-s1.webp

    آماده سازی مواد

  • wmpage03-s2.webp

    تشکیل مواد

  • wmpage03-s3.webp

    تف جوشی

  • wmpage04-s1.webp

    ماشینکاری خوب

  • wmpage05-s1.webp

    بازرسی

  • wmpage06-s1.webp

    تمیز کردن دقیق

  • wmpage06-s1.webp

    بسته بندی وکیوم

 

تگ های محبوب: حلقه های فوکوس، تولید کنندگان حلقه های فوکوس چین، تامین کنندگان، کارخانه

ارسال درخواست